| 技术谘询 |
无尘窒CLEAN ROOM
空气中有许多我们看不到的灰尘和其他粒子。例如,在一 个有空调系统的典型办公室内,每立方英尺的空气中含有
一百万个以上的粒子,在一般的房子内,灰尘粒子的数目 可达一干万至一亿个之多。
在室内灰尘和粒子总是由衣服、纸和其他的东西上产生出 来,看不到的粒子亦由人的头发和皮肤上产生出来,因此, 我们是生活在环绕着灰尘和粒子的环境中。
离开陆地很远的海洋上和离地面12,000米以上的大气中, 其粒子的数目最少,但在这两种地方,粒子的数目也高达 每立方英尺10,000个以上。
而许多现代化高科技产业及产品,必须在具有乾净空气的 乾净空间工作或生产,于是用特殊过滤网将室内灰尘和粒
子加以过;虑,精确计算过的通风换气系统,以确保乾净的 空间,同时利用空调系统来控制室内的温度、湿度和压力, 因而拥有了一个完全控制的乾净空间一无尘室。
|
各种细小粒子之大小的比较
粒子大小(MICRON)
※Seiichi Denda(Kyoritsu Shuppan) |
|
无尘室的等级级标准
■ 无尘程度是根据特定的状况来分级
无尘室的无尘程度是以一特定容量的空气中所含尘粒的大小 及数目来测量的,在特定状况下以特定容量空气中之尘粒数
目来分级的系统称为无尘等级。无尘的规范依国家而不同, 但在大多数地区,国家规范是根据美国联邦标准209D。
■ 工业级无尘室(lCR)有两种标准
在日本,JlS B 9920及美国联邦标准209D被广泛地采用为工 业及无尘室的标准,在JlS B 9920中无尘等级是以在一立方
米的空气中含有的直径等于(或大于)0.1μm的尘粒数目来 订定的,在美国联邦标准209D中,是以一立方尺(1ft3)中
所会直径为0.5μm的尘粒来订定的。
■ 生物无尘室(BCR)处理生物性尘粒
生物无尘室控制房间中之生物性尘粒。美国国家太空总书 (NASA)标准NHB-5340.2订定了无尘等级,是以房间中一
特定容量空气浮游的生物性尘粒数目,不管其颗粒大小,来 计算的(尘粒数月3),这其中包括在特定时间内掉落在特定
面积地板上的生物尘粒数(尘粒数/f的〈week)。在日本,不 同的组织及机构以根据其应用及目的而订定了他们自己的无 机及有机的无尘标准。
|
尘粒大小分布曲线
■ 横轴上代表尘粒大小的每立方尺含有尘粒数目之上限。
|
| ■ JIS B 9920标准无尘等级的浓度上限 (pcs/m3) |
粒径
(μm) |
无尘等级 |
| class 1 |
class 2 |
class 3 |
class 4 |
class 5 |
class 6 |
class 7 |
class 8 |
| 0.1 |
101 |
102 |
103 |
104 |
105 |
(106) |
(107) |
(108) |
| 0.2 |
2 |
24 |
236 |
2360 |
23600 |
···· |
···· |
···· |
| 0.3 |
1 |
10 |
101 |
1010 |
10100 |
101000 |
1010000 |
10100000 |
| 0.5 |
(0.35) |
(0.3) |
35 |
350 |
3500 |
55000 |
350000 |
3500000 |
| 5.0 |
···· |
···· |
···· |
···· |
29 |
290 |
2900 |
29000 |
无尘等级
粒径范围 |
0.1~0.3 |
0.1~0.5 |
0.1~5.0 |
0.3~5.0 |
|
| 附注 |
1. |
第3A5,6,7和8级相当于美国联邦标准209D(无尘室和控制环境的工作站)相对的第1,100,1000,10000和100000。 |
| 2. |
浓度的上限代表等于或大于指定颗粒大小的洒度。 |
| 3. |
浓度的上限是指颗粒大小为0.1μm和0.5μm的量。 |
| 4. |
在括弧中的数字是指颗粒大小不同民指定大小的量,它们只供评估无尘等级和只当参考用而已。 |
|
| ■ 美国联邦标准209D无尘等级的浓度上限(颗粒数/ft3) |
粒径
(μm) |
无尘等级 |
| 1 |
10 |
100 |
1000 |
10000 |
100000 |
| 0.1 |
35
(1236) |
35
(12360) |
NA. |
NA. |
NA. |
NA. |
| 0.2 |
7.5
(265) |
75
(2649) |
750
(26486) |
NA. |
NA. |
NA. |
| 0.3 |
3
(106) |
30
(1059) |
300
(10594) |
NA. |
NA. |
NA. |
| 0.5 |
1
(35) |
10
(353) |
100
(3531) |
1000
(35315) |
10000
(353147) |
100000
(3531470) |
| 5.0 |
NA. |
NA. |
NA. |
7
(247) |
70
(2472) |
700
(24720) |
|
| (NA-无资料)， ( ) : 换算成颗粒数pcs/m3 |
|
|
无尘室空调系统之应用
| 项目\无尘室系统 |
传统的无尘室 |
水平层流式无尘室 |
垂直层流式无尘室 |
| 空气流动系统 |
 |
 |
 |
| 无尘等级 |
10000~100000 |
1000~10000 |
class 100以下 |
| 应用弹性 |
需要较高无尘等级的制程必须直接置于空气入口下方。 |
需要无尘的制程须置于气流的上方，应用弹性较为有限。 |
应用弹性极高，因为室内的每一个地方均有最高的无尘等级 |
| 运转成本 |
运转成本低，但无法获得高无尘等级。 |
运转成本较低，因为空气入口速率比垂直层流系统低。 |
运转成本最高，因为空气流动速率非常高。 |
| 成本指数 |
30 |
50 |
100 |
| 建造成本 |
成本低 |
成本相当高 |
成本极高 |
| 成本指数 |
30 |
60 |
100 |
|
|
|
|